中国哪所大学有制造光刻机专业|了解一下
1、基本上的理科大学都有这个专业，只不过大学不一样，专业聪明也不一样。
2、光刻机属于一个各学科集成的产品，泛泛而言，设计到光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科聪明。
3、光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光体系，光刻体系等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，因此叫 Mask Alignment System。
4、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
5、Photolithography（光刻） 意思是用光来制作一个图形（工艺）。在硅片表面匀胶，接着将掩模版上的图形转移光刻胶上的经过将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的经过。
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